超高分解能电磁场计测电子顕微镜法の开発
- 3.7 先進デバイス?マテリアル評価計測技術（SEM、AFM、OCD、TEMなど）
柴田 直哉
工学系研究科
教授
半导体デバイスの电磁场分布を超高分解能で直接可视化できる电子顕微镜法を开発し、デバイス中の电磁场分布解析に応用する。
柴田直哉
柴田直哉
プロジェクトに関する鲍搁尝
共同実施者
日本电子株式会社
モナッシュ大学（オーストラリア）
モナッシュ大学（オーストラリア）
主な関连论文
- N. Shibata et al., “Direct Visualization of Local Electromagnetic Field Structures by Scanning Transmission Electron Microscopy,”Acc. Chem. Res., 50, 1502-1512 (2017).
- N. Shibata et al., “Imaging of built-in electric field at a p-n junction by scanning transmission electron microscopy,”Sci. Rep., 5, 10040 (2015).
- N. Shibata et al., "Differential phase-contrast microscopy at atomic resolution,” Nature Phys., 8,611-615 (2012).
主な特许
「透过型电子顕微镜」特许第 5529573号 (2014.4.25)
関连する厂顿骋蝉项目
问い合わせ先
- 担当： 工学系研究科 柴田 直哉
- 電話： 03-5841-0415
- メールアドレス： shibata[at]sigma.t.u-tokyo.ac.jp
※摆补迟闭を蔼に置き换えてください
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