半导体微细构造からの放热促进技术开発
- 2.5 エネルギー設計（電力/エネルギー効率、給電、抜熱 など）
野村 政宏
生产技术研究所
教授
半导体において局所冷却を可能にするマイクロペルチェ素子开発を行います。シミュレーションによるデバイス设计から构造作製、性能评価を行います。
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